Bartels微泵是可以控制和操縱少量流體的設備。盡管通常將任何類型的小型泵稱為微泵，但更精確的定義將這一術語限制為功能尺寸在微米范圍內(nèi)的泵。這種泵在微流體研究中特別受關注，并且近年來已可用于工業(yè)產(chǎn)品集成。與現(xiàn)有的Bartels微泵相比，它們的整體尺寸小，潛在成本高和計量精度提高，激發(fā)了人們對這種創(chuàng)新型泵的興趣。

 

　　Bartels微泵的機械分類：

　　隔膜微型泵：

　　使用隔膜的重復驅動來驅動流體。隔膜位于主泵閥上方，主閥位于進口和出口微型閥之間。當膜片通過某種驅動力向上偏轉時，流體被吸入入口閥并進入主泵閥。然后降低膜，使流體通過出口閥排出。重復該過程以連續(xù)泵送流體。

 

　　壓電微型泵：

　　是排量往復隔膜泵的最常見類型之一。壓電驅動的微型泵依靠壓電陶瓷的機電性能響應施加的電壓而變形。附著在膜片上的壓電盤引起膜片偏轉，該膜片偏轉由外部軸向電場驅動，從而使微型泵的腔室膨脹和收縮。這種機械應變導致腔室內(nèi)的壓力變化，從而導致流體的流入和流出。流速由材料的極化極限和施加在壓電上的電壓控制。與其他驅動原理相比，壓電驅動雖然需要相對較高的驅動電壓和壓電陶瓷的復雜安裝過程，但仍可實現(xiàn)高行程量，高驅動力和快速的機械響應。

　　尺寸最小的3.5x3.5x0.6mm 3壓電微型泵由Fraunhofer EMFT開發(fā)，該機構是世界著名的研究機構，專注于MEMS和微系統(tǒng)技術。Bartels微泵由三層硅組成，其中一層作為泵隔膜從上方限制泵腔，而另外兩層分別代表中間閥芯和底部閥芯。被動瓣閥在入口和出口的開口根據(jù)流動方向進行定向。負壓施加到壓電泵上時，隔膜會膨脹，從而產(chǎn)生負壓，將流體吸入泵室。反之，當正電壓將隔膜向下推動時，會導致過壓打開出口閥并迫使流體流出腔室。